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叠层式Micro LED国内外产学研齐发力

LED向日葵污下载在线播放LED背光源,请选中山兴德!     时间:2023-09-16   查看:

 Micro LED技术虽可应用在AR、VR、智能手表为代表的小尺寸可穿戴设备领域,但目前实际应用案列少之又少。以AR眼镜为例,据不完全统计,2022年应用Micro LED技术眼镜仅有3款,分别是李未可的Meta Lens、Vuzix的Shield和Tooz的 ESSNZ Berlin智能眼镜。

虽较Micro OLED技术有更明显的优势,但Micro LED微显示应用之路并不顺畅。归根到底,问题仍是Micro LED技术发展较缓慢,制造工艺尚不成熟,产品成本、质量与红光芯片效率问题依旧存在,全彩化、近眼高分辨率显示效果难以实现,因此目前Micro LED无法在微显示领域大规模应用。

尽管如此,对于Micro LED技术的研发,LED企业与学术界从未停止,通过探索不同技术方案,逐步完善Micro LED技术,加速缩短Micro LED在微型显示领域的应用进程。

近日,以麻省理工为首的研究团队,在全彩叠层结构Micro LED(Stacked RGB Micro LED)方面的研究有新突破。未来,该方案或成为影响Micro LED微型显示应用发展的关键因素。

该研究团队开发了全彩垂直叠层结构的Micro LED,分辨率高达5100PPI,尺寸仅为4μm,号称是目前所知拥有最高阵列密度和最小尺寸的Micro LED。产品高分辨率和极小尺寸的特点,适配了近眼微显示电子设备的应用需求。

该研究成果进一步推动了叠层式结构Micro LED的发展应用,也再度引起了LED行业对这一技术方案的关注。

具体来看,该方案的特别之处在于,相较传统平行排列结构的RGB Micro LED芯片所形成的单个像素,叠层排列方案的应用可在缩小显示模组尺寸的同时,提高Micro LED显示器的画质与生产效率。

详细来说,叠层结构使单个像素占用的空间更少,因此在单位面积内可实现更高的像素密度,从而满足微显示设备对小尺寸、高清分辨率显示模组的应用需求。

在生产方面,由于叠层式结构的应用,RGB三色芯片集成于单一芯片上,使Micro LED芯片转移至基板的时间缩短,放置精度获得提高,从而优化了Micro LED显示器的生产效率与成本。

由于结构的转变,Micro LED的生产和应用获得了更多可能性,因此近年来,陆续有国内外企业与高校、科研单位参与到叠层式结构Micro LED的研究里,推动该技术持续进步。

据LEDinside不完全统计,首尔伟傲世、Lumens、Sundiode、诺视科技等国内外LED企业,以及国内的清华大学研究团队在近年均参与到叠层式Micro LED的研究当中:

2022年,首尔伟傲世展示了WICOP Pixel全彩单芯片显示技术,其特点是无需引线、封装与透镜结构,并通过垂直叠层的方式放置红、绿和蓝光(R/G/B)三颗Micro LED芯片。

WICOP Pixel技术的应用,将Micro LED显示屏生产工序减少到三分之一,并提高了Micro LED的良率,降低了制造成本,同时还把Micro LED的发光面积缩小到现有平面结构产品的三分之一,获得了深黑的颜色和清晰图像。

今年2月,首尔伟傲世展示了基于 WICOP Pixel技术的Micro LED显示屏,亮度提高到了4000nits,将Micro LED的应用范围扩大到包括 AR、VR在内的元宇宙领域。

今年初,韩国LED开发商Lumens宣布,已开发用于Micro LED生产的RGB外延片Monolithic,单个外延片产品是由RGB三光色外延片堆叠而成。在红光 LED材料上,Lumens改用与蓝光、绿光相同的氮化铟镓材料,更易于叠层式芯片的加工与生产。

2021年4月,美国Micro LED微显示公司Sundiode公布了其专有的堆叠式RGB Micro LED像素技术,可将单晶圆上的叠层式RGB Micro LED像素阵列直接接合到硅基CMOS背板上。

同年11月,Sundiode展示了叠层式RGB Micro LED全彩显示器,采用主动矩阵硅基CMOS背板驱动技术,Micro LED芯片尺寸为100μm,显示器尺寸为15.4mm×8.6mm,分辨率为200PPI。

2023年初, Sundiode与GaN技术开发商Soft-Epi,共同实现在单个蓝宝石晶圆上生长单片全InGaN RGB LED结构。

2022年底,国内Micro LED技术开发商诺视科技成功点亮0.39英寸的Micro LED微显示屏,产品采用WLVSP(Wafer Level Vertically Stacked Pixels,晶圆级垂直堆叠像素)技术方案开发。

2021年5月,清华大学电子工程系研究团队开发了基于叠层式红、绿、蓝三色(RGB)的Micro LED器件阵列设计。

通过外延剥离和转移印刷的方法,将基于不同无机III-V族单晶半导体结构的薄膜式Micro LED,包括铟镓磷基(InGaP)红光LED、铟镓氮基(InGaN)绿光和蓝光LED(尺寸~100μm²,厚度~5μm)异质集成,形成垂直堆叠结构。同时,通过设计具有波长选择透过的光学薄膜作为Micro LED之间的界面层,提高了器件的发光效率和辐射性能。

与传统并排放置的RGB器件结构相比,在同等器件尺寸下,叠层结构比并排结构可将显示分辨率提升三倍,不仅提高了器件的发光性能,也降低了制备过程中对加工精度的要求。

2021年,韩国半导体设备厂Youngwoo DSP获得政府项目,负责开发基于超小RGB堆叠层的新型Micro LED制造技术,项目持续至2024年底。Youngwoo DSP表示,这项技术有助于提高巨量转移的对准精度、提升像素点密度,同时还能节省制造时间、降低成本。产品可应用到智能手表、汽车以及AR设备等。

2020年,韩国科学技术院(KAIST)的研究团队开发了一种生产高分辨率Micro LED显示器的方法。团队将红绿蓝LED有源层堆叠在3D空间之后使用半导体图案化工艺,并通过具有滤光片特性的绝缘膜,消除红、蓝光色干扰。最终,显示器拥有每英寸超过6万像素的高分辨率。

可以看到,近年来,通过对叠层式结构的研究,企业与高校提升了Micro LED微显示器的亮度与分辨率,推动了全彩高清Micro LED微显示器的发展。

面对Micro LED现存的关键技术问题,叠层式结构提供了可行的解决方法,为扩大Micro LED技术在AR/VR等微显示领域的应用,开辟了一条新的技术路径。

然而,在解决传统结构现有问题的同时,叠层式Micro LED方案也带来了新的技术难题。

Micro LED技术厂商Porotech曾指出,叠层式结构意味着三种颜色的光将从显示器的不同高度射出,会导致光学设计的复杂化,同时也对LED之间的间距精准度及结构中不同层的对准精度提出了更高的要求。

另外,堆叠式RGB LED产生的颜色干扰、微小像素的发光效率低、红光材料的适配性和效率等都是方案应用时所要面临的问题。

TrendForce集邦咨询分析师则表示,叠层式Micro LED芯片技术目前均处在开发阶段,因量产技术能力不足,尚未运用在穿戴显示器上。

尽管并无实际微显示产品应用,但上述企业与高校纷纷看好叠层式技术,认为方案可加速Micro LED在AR/VR等领域的发展。

因此,相信未来对于叠层式Micro LED技术的研究不会停止。随着苹果、三星等终端龙头企业在Micro LED技术上持续加码布局,包含叠层式结构在内的Micro LED技术方案研究或被迅速推进,成为探索Micro LED商业化路上的重要一环。

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